- 產品簡介
北玻鍍膜水平式建筑鍍膜線，采用磁控濺射沉積技術，在玻璃表面沉積一系列介質和金屬薄膜，主要用于加工各種low-E玻璃、AR膜，以及陽光控制玻璃等。
設備特點：
1. 濺射室由一系列結構相同的795mm井位單元構成
2. 泵井位采用獨特的氣體隔離裝置
3. 應用新一代以鋁型材為支撐結構的可調式磁棒
4. 設計5-9段輔助工藝氣體分配系統，每一段可以選擇不同類型的氣體
5. 采用伺服電機控制，實現傳輸的高精度控制。
6. 不斷縮小進/出口室腔體體積，提高節拍，降低成本
7. 工藝氣體分配系統集成在陰極蓋板上
8. 每一個陰極單元都配有獨立的控制系統
9. 前后室采用整體式蓋板設計，可實現機械提升和液壓提升
10. 鍍膜區采用磁懸浮分子泵和干泵
技術參數：
SE2540H系列
SE3300H系列
基片
浮法玻璃，鋼化玻璃，夾膠玻璃等
基片尺寸
Max. 2540×3660mm（可定制）
Max. 3300×6000mm（可定制）
基片厚度
3-19mm（可定制）
機械節拍
> 20s
>30s
極限真空
< 2E-6mbar
有效運行時間
>95%
膜層均勻性
≤±1.0%
